检测项目
动态性能检测：
- 位移精度：线性误差（≤±0.05%FS，参照ISO5725）、重复定位精度（±1μm）
- 响应特性：阶跃响应时间（＜5ms）、频率响应带宽（0-500Hz）
- 速度检测：瞬时速度波动率（≤0.2%）、加速度分辨率（0.001m/s²）
- 零点漂移：24小时稳定性（±0.02%FS）、温度系数（±0.005%/℃）
- 线性度：满量程非线性误差（≤0.1%）、迟滞误差（≤0.05%）
- 温度试验：-40℃~+85℃工况漂移（≤±0.1%）
- 振动试验：10-2000Hz随机振动偏差（≤±0.3%）
- 防护等级：IP67密封性验证（参照IEC60529）
- 供电特性：电压波动容差（±10%）、功耗（≤3W）
- 信号完整性：信噪比（≥60dB）、EMC抗扰度（4kV接触放电）
- 光栅分辨率：刻线精度（±0.5μm/m）
- 激光特性：波长稳定性（±0.5nm）、光束发散角（＜0.5mrad）
- 轴向负载：径向刚度（≥50N/μm）
- 安装误差：法兰平面度（≤5μm）、同心度（≤0.01mm）
- 机械耐久：1000万次往复磨损（精度衰减≤±0.5%）
- 电子老化：2000小时连续运行（故障率＜0.1%）
- 轨迹拟合：位置预测误差（≤0.1mm）
- 噪声抑制：动态滤波延时（＜1ms）
- 实时性：EtherCAT周期同步（≤1μs抖动）
- 数据校验：CRC错误率（＜10⁻⁹）
- 功能安全：SIL2等级验证（IEC61508）
- 防爆认证：ExiaIIBT4防护（IEC60079）
检测范围
1.光电编码器：增量式/绝对式光栅系统，重点检测莫尔条纹精度与抗污染性能
2.MEMS惯性单元：三轴陀螺仪及加速度计，验证温度漂移补偿算法有效性
3.激光位移传感器：三角测量法设备，检测光斑畸变校正与材质反射率适应性
4.磁栅测量系统：磁性标尺与读头组合，评估强磁场干扰下的信号稳定性
5.超声波传感器：介质传播特性检测，聚焦声场强度分布与温湿度补偿
6.工业相机系统：CMOS/CCD视觉检测，分析帧率与运动模糊的量化关系
7.应变式传感器：桥式电路测量装置，检测蠕变恢复特性与过载保护阈值
8.电容位移探头：非接触式检测器件，验证介电常数变化对测量线性度影响
9.雷达测速模块：多普勒效应设备，检测多目标分辨能力与衰减补偿
10.机械限位开关：触点式位置检测，评估机械寿命与接触电阻稳定性
检测方法
国际标准：
- ISO16063-21:2022振动与冲击传感器校准方法（频响范围扩展至10kHz）
- IEC60068-2-6:2018环境试验-振动测试（新增多轴向同步振动程序）
- ASTME2309-20光电编码器线性精度验证（采用激光干涉基准法）
- GB/T30117.1-2021光栅线位移传感器（增加动态误差评价指标）
- GB/T13606-2020电阻应变式传感器（修订温度补偿测试工况）
- JJG644-2022振动传感器检定规程（与国际标准采样率差异±5%）
检测设备
1.激光干涉仪：RENISHAWXL-80型（分辨率0.001μm，测量距离80m）
2.多轴振动台：LDSV900系列（频率范围0-3000Hz，推力900N）
3.高低温试验箱：ESPECPSL-4KPH（温变速率10℃/min，范围-70℃~180℃）
4.光电校准平台：精密气浮转台（角定位精度±0.1arcsec）
5.信号分析仪：KeysightN9021BMXA（分析带宽160MHz，相位噪声-148dBc/Hz）
6.EMI测试系统：半电波暗室（3m法，30MHz-6GHz）
7.动态力校准机：压电式激振器（动态力范围0.1N-10kN）
8.六维传感器标定台：并联机器人结构（位置重复精度±2μm）
9.纳米位移平台：压电陶瓷驱动器（最小步进0.1nm，行程100μm）
10.光谱分析系统：光栅光谱仪（波长精度±0.05nm，分辨率0.02nm）
11.高速数据采集卡：NIPXIe-5172（采样率100MS/s，18bit分辨率）
12.激光功率计：热电堆探测器（量程10nW-30W，不确定度±0.8%）
13.精密测角仪：自准直光管系统（角分辨0.01arcsec）
14.标准振动源：压电式标准加速度计（幅值不确定度±0.3%）
15.时频分析仪：原子钟基准（日稳定度5E-13）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
